Caractérisation et développement d'architectures 3 D pour capacités métal-isolant-métal intégrant des électrodes en cuivre et des diélectriques à permittivité élevée
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Auteur / Autrice : | Maryline Thomas |
Direction : | Bernard Chenevier |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences et génie des matériaux |
Date : | Soutenance en 2007 |
Etablissement(s) : | Grenoble INPG |
Mots clés
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