Développement et conception de filtres sélectifs en technologie coplanaire : potentialités pour la spectroscopie non-dispersive en infrarouge lointain et submillimétrique, appliquée à la détection de composés organiques volatils
Auteur / Autrice : | Gwenal Le Dem |
Direction : | Didier Robbes |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Électronique et micro-électronique |
Date : | Soutenance en 2007 |
Etablissement(s) : | Caen |
Mots clés
Résumé
Un bilan des différentes méthodes de détection in-situ du gaz benzène a été réalisé. Le projet de spectrométrie non-dispersive en infrarouge lointain, présenté dans ce mémoire, n’a d’intérêt que s’il autorise une détection du seuil de 5 μg∙m-3 de benzène en quelques secondes. Les bolomètres couplés à antenne en V ont été retenus pour la partie active des capteurs du projet. L’étude des antennes en V a démontré la nécessité d’introduire un élément de filtrage dans la chaîne de détection. Les filtres BIP 1D coplanaires en couches minces (t < 3 μm) sont apparus être de bons candidats, pour leurs performances (Q > 1607 dans le cas idéalisé sans pertes) et pour leur intégration dans le couplage avec le bolomètre. Les caractérisations et les calculs analytiques à 40 GHz des précédents filtres ont montré que leur facteur de qualité sont extrêmement dégradés à cause des pertes dues aux résistances linéiques R de l’ordre de 150 Ω∙m-1 : Q = 70, S21 = -33 dB, S11 = -0,7 dB à la résonance. De plus, le calcul des pertes et la pénétration des champs dans les conducteurs, dont l’épaisseur t est proche ou égale à l’épaisseur de peau, demeurent encore des enjeux pour les solveurs numériques 3D. Une procédure de simulation et de chaînage des filtres a donc été mise au point en vue de l’employer pour différentes structures plus sélectives. L’approche en modèle de ligne complet avec pertes a également été menée, précisant l’effet de discontinuités géométriques aux changements d’impédances caractéristiques et permettant de relier de façon plus rapide pertes linéiques et coefficient de qualité admissible. Ces dernières estimations orientent les futurs dispositifs de filtrage en vue d’atteindre le domaine infrarouge lointain.