Thèse soutenue

Modélisation des effets d'hydrogène sur la morphogenèse des nanostructures de silicium hydrogéné dans un réacteur plasma

FR  |  
EN
Auteur / Autrice : Quentin Brulin
Direction : Holger Vach
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique
Date : Soutenance en 2006
Etablissement(s) : Palaiseau, Ecole polytechnique

Mots clés

FR

Mots clés contrôlés

Mots clés libres