Modélisation des effets d'hydrogène sur la morphogenèse des nanostructures de silicium hydrogéné dans un réacteur plasma
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Auteur / Autrice : | Quentin Brulin |
Direction : | Holger Vach |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Physique |
Date : | Soutenance en 2006 |
Etablissement(s) : | Palaiseau, Ecole polytechnique |
Mots clés
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