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des thèses françaises
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Etude de procédés plasma basse énergie pour la préparation de surface de silicium et le dépôt chimique en phase vapeur d'hétérostructures Si/SiGe
FR |
EN
| Auteur / Autrice : | Guillaume Pin |
| Direction : | Isabelle Berbezier |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Sciences des matériaux |
| Date : | Soutenance en 2006 |
| Etablissement(s) : | Aix-Marseille 2 |
| Ecole(s) doctorale(s) : | École Doctorale Physique et sciences de la matière (Marseille) |
| Partenaire(s) de recherche : | Autre partenaire : Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences |
Mots clés
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