Thèse soutenue

Etude de l'oxydation de nanocristaux de Si fabriqués par implantation ionique à basse énergie dans des couches minces de SiO2 : application aux mémoires non volatiles à base de nanocristaux

FR  |  
EN
Auteur / Autrice : Hubert Coffin
Direction : Alain ClaverieCaroline Bonafos
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Matériaux et composants de l'électronique
Date : Soutenance en 2005
Etablissement(s) : Toulouse 3