Etude de l'oxydation de nanocristaux de Si fabriqués par implantation ionique à basse énergie dans des couches minces de SiO2 : application aux mémoires non volatiles à base de nanocristaux
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Auteur / Autrice : | Hubert Coffin |
Direction : | Alain Claverie, Caroline Bonafos |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Matériaux et composants de l'électronique |
Date : | Soutenance en 2005 |
Etablissement(s) : | Toulouse 3 |