Thèse soutenue

Croissance de monocristaux de diamant par dépôt chimique en phase vapeur pour des applications en électronique de puissance

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Auteur / Autrice : Alexandre Tallaire
Direction : Alix Gicquel
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Génie des procédés
Date : Soutenance en 2005
Etablissement(s) : Paris 13

Résumé

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Au cours de cette thèse, l'optimisation conjointe de la qualité et des vitesses de croissance de films de diamant monocristallin a été menée dans un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-onde. En particulier, le rôle de paramètres expérimentaux tels que la concentration en méthane, la température du substrat, ou la densité de puissance micro-onde injectée en mode continu ou pulsé ont été étudiés, ainsi que l'ajout de très faibles quantités d'azote dans la phase gazeuse pendant la croissance. Des monocristaux de diamant, épais de plusieurs milimètres, et dont la qualité a été évaluée par une large variété de techniques de caractérisation ont ainsi pu être synthétisés pour la première fois. Leur utilisation pour des applications en électronique de puissance est finalement discutée et les premières mesures électroniques présentées.