Thèse soutenue

Synthèse par PECVD et caractérisation de nanotubes de carbone orientés

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Auteur / Autrice : Sébastien Point
Direction : Agnès GranierTiberiu Minea
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Science des matériaux. Plasma - couches minces et nanostructures
Date : Soutenance en 2005
Etablissement(s) : Nantes
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale sciences et technologies de l'information et des matériaux (Nantes)

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Résumé

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Ce travail est consacré à l'étude de la synthèse de nanotubes de carbone (NTC) orientés par plasma froid basse pression excité par résonance cyclotronique électronique (ECR PECVD). Ces travaux portent également sur la caractérisation structurale et physico-chimique des NTC. Les paramètres explorés sont la nature des catalyseurs (Ni, Fe, Pd) déposés par pulvérisation plasma (PVD), la température du substrat, la composition du gaz plasmagène (C2H2/NH3 ou C2H2/H2). Ce procédé ECR PECVD permet la synthèse de NTC dès 550°C. La microscopie électronique à balayage et à transmission (MEB, MET) renseigne sur la vitesse de croissance et l'orientation des NTC. L'analyse de l'environnement chimique (XPS, XANES et EELS) révèle l'incorporation d'azote dans la structure des NTC synthétisés en C2H2/NH3 et indique les configurations les plus probables. Enfin, des nanofibres de carbone amorphe ont été obtenues à température ambiante en associant un plasma ECR d'acétylène et une source d'atomes d'azote.