Couches minces d'oxynitrures de titane par pulvérisation cathodique réactive
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Auteur / Autrice : | Jean-Marie Chappé |
Direction : | Jamal Takadoum, Nicolas Martin |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences pour l'ingénieur |
Date : | Soutenance en 2005 |
Etablissement(s) : | Besançon |
Partenaire(s) de recherche : | autre partenaire : Université de Franche-Comté. UFR des sciences et techniques |
Mots clés
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