TY - THES DP - http://www.theses.fr/2003TOU30159 TI - Conception, réalisation et caractérisation de biocapteurs micromécaniques résonants en silicium avec actionnement piézoélectrique intégré : détection de l'absorption de nanoparticules d'or AU - Guirardel, Matthieu A3 - Bergaud, Christian PY - 2003 SP - 115 f. N1 - Thèse de doctorat Micro et nano systèmes. Conception de circuits microélectroniques et microsystèmes Toulouse 3 2003 N1 - 2003TOU30159 UR - http://www.theses.fr/2003TOU30159/document ER -