Couches à faibles permittivités diélectriques élaborées par plasma micro-onde d'organosilicies : identification et étude des paramètres contrôlant la permittivité
FR
Auteur / Autrice : | Aziz Zenasni |
Direction : | Yvan Ségui |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Physique et ingénierie des plasmas de décharge : plasmas et matériaux |
Date : | Soutenance en 2003 |
Etablissement(s) : | Toulouse 3 |