Thèse soutenue

Couches à faibles permittivités diélectriques élaborées par plasma micro-onde d'organosilicies : identification et étude des paramètres contrôlant la permittivité
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Auteur / Autrice : Aziz Zenasni
Direction : Yvan Ségui
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique et ingénierie des plasmas de décharge : plasmas et matériaux
Date : Soutenance en 2003
Etablissement(s) : Toulouse 3