Mécanismes de croissance et propriétés de couches minces de silice hydrogénée réalisées par décharge luminescente à la pression atmosphérique en mélange silane, protoxine d'azote, azote

par Steve Martin

Thèse de doctorat en Matériaux, technologie et composants de l'électronique

Sous la direction de Françoise Massines.

Soutenue en 2003

à Toulouse 3 .

  • Titre traduit

    Growth mechanisms and physico-chemistry of silica thin films realised with atmospheric pressure glow discharge, in nitrogen, oxidizing gas and silane mixture


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Informations

  • Détails : 194 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 187-194

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  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2003TOU30079

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  • PEB soumis à condition
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