Mise au point d'un procédé de CVD activé par filaments chauds et plasma de décharche pour la nucléation du diamant : Etudes paramétrique et cinétique
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Auteur / Autrice : | Madjid Mojtahedzadeh Larijani |
Direction : | François Le Normand |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Physique des matériaux condensée |
Date : | Soutenance en 2003 |
Etablissement(s) : | Strasbourg 1 |
Mots clés
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