Thèse soutenue

Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraedrique amorphe pur et dopé : propriété des couches et intégration dans la fabrication de composants MEMS RF

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Auteur / Autrice : Jean-Christophe Orlianges
Direction : Alain Catherinot
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Science des matériaux céramiques et traitements de surface
Date : Soutenance en 2003
Etablissement(s) : Limoges
Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques

Résumé

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La première partie de ce travail est consacrée au procédé. Il y est question des principaux problèmes rencontrés lors du dépôt par ablasion laser, à savoir la projection de particules solides lors du dépôt et l'homogénéi͏̈té en épaisseur des couches réalisées sur substrat fixe. La seconde partie est consacrée à l'étude des propriétés des films minces d'alumine et de carbone tétraédrique amorphe déposés à température ambiante ainsi qu'à la réalisation de multicouches et de dopages. Enfin nous présenterons les résultats de l'intégration, dans les composants MEMS RF, des films d'alumine et de TA-C déposés par ablation laser