Thèse soutenue

Analyse de transistors SOI à dimensions critiques et architectures multi-grilles
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Auteur / Autrice : Jérémy Pretet
Direction : Sorin Cristoloveanu
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Microélectronique
Date : Soutenance en 2003
Etablissement(s) : Grenoble INPG

Résumé

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Dans ce mémoire, nous discutons les spécificités des MOSFETs SOI simple et multi-grilles. Le premier chapitre introduit les propriétés de base des matériaux et MOSFETs SOI. Les deux chapitres suivant sont consacrés à l'influence de la réduction d'échelle sur les MOSFETs SOI classiques. L'impact des effets de canal étroit sur les paramètres critiques (tension de seuil, pente sous le seuil, mobilité. . . ) des transistors et sur les effets de body flottant sont analysés de manière détaillée. L'apparition d'un nouvel effet de body flottant induit par le courant de grille tunnel, le GIFBE, est ensuite discutée. Enfin, les deux derniers chapitre ont un aspect plus prospectif et sont consacrés à des architectures innovantes simple et multi-grilles. Un modèle de couplage dans les MOSFETs SON et un modèle de désertion sont exposés. Le couplage dans les transistors ultra-minces et les propriétés de conduction des différents canaux des FinFETs sont aussi discutés.