Microfluxmètre réalisé par des procédés de gravure et d'électrodéposition : vers une application à la microscopie thermique

Microfluxmeter realised by etching and electroplating means : application to thermal microscopy

• Auteur / Autrice : Erwan Lennon
• Direction : Frédéric Ayela
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 2003
• Etablissement(s) : Université Joseph Fourier (Grenoble, Isère, France ; 1971-2015)

Résumé

Ce projet s'inscrit dans le cadre des microtechnologies et leurs applications. L'application visée ici est la mesure de flux de chaleur (10 microwatts) à des échelles réduites (>100 nm) afin d'obtenir les caractéristiques thermiques locales de solides. Le microfluxmètre réalisé est constitué d'un actionneur 3D en silicium sur lequel sont intégrés une micropointe de chrome et un système de régulation thermique. Le déplacement dans les trois directions de l'espace (résolution < 1 angström, amplitude 10 micromètres) est commandé par voie électrostatique et contrôlé par mesure capacitive. La première partie dresse l'état de l'art de la microscopie thermique et la deuxième décrit la conception du dispositif. Les troisième et quatrième parties illustrent la microfabrication du dispositif. La cinquième partie est consacrée au système de commande et de mesure électronique du déplacement. La sixième partie présente les premières caractérisations des prototypes réalisés.