Dépôts chimiques en phase vapeur d'hétérostructures Si/Si(1-x-y)Ge(x)C(y) et Si/Si(1-y)C(y) : application aux transistors n et pMOS à canaux épitaxiés

par Virginie Loup

Thèse de doctorat en Physique des matériaux

Sous la direction de Daniel Bouchier.

Soutenue en 2003

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .

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    Chemical vapour deposition of Si/Si(1-x-y)Ge(x)C(y) and Si/Si(1-y)C(y) heterostructures : application to epitaxial channels MOS transistors


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  • Détails : 1 vol. (230 p.)
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  • Bibliothèque : Université Grenoble Alpes (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque et Appui à la Science Ouverte. Bibliothèque universitaire Joseph-Fourier.
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