Simulation numérique et expérience pour l'étude de la dynamique des agrégats d'azote et de silicium : des intérêts fondamentaux vers le dépôt de couches de silicium nanocristallin
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Auteur / Autrice : | Nihed Chaâbane |
Direction : | Holger Vach, Pere Roca i Cabarrocas |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Sciences des matériaux |
Date : | Soutenance en 2003 |
Etablissement(s) : | Palaiseau, Ecole polytechnique |
Jury : | Président / Présidente : Gérard Torchet |
Examinateurs / Examinatrices : Emmanuel Fort, Steven Girshick | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Laïfa Boufendi, Benoît Soep |
Mots clés
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