Réalistion d'OLED à émission par la surface : optimisation de structures ITO/semiconducteurs organiques

Top emitting OLED : optimization of ITO on organic semiconductor structure

• Auteur / Autrice : David Vaufrey
• Direction : Jacques Tardy
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences. Dispositifs de l'électronique intégrée
• Date : Soutenance en 2003
• Etablissement(s) : Ecully, Ecole centrale de Lyon
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Laboratoire d'électronique, optoélectronique et microsystèmes (Ecully, Rhône ; 1995-2006)

Mots clés

Mots clés contrôlés

Semiconducteurs organiques

Anodes

Dispositifs électroluminescents

Mots clés libres

OLED à émission par la surface

Dépôt d'ITO à basse température

Résumé

Ce travail porte sur la réalisation de diodes électroluminescentes organiques (OLED) à émission par la surface qui constituent l'élément de base pour les écrans à matrice active en technologie OLED. Le dépôt d'une électrode supérieure transparente reste un des verrous technologiques de ces dispositifs. Nous analysons en détail le dépôt par pulvérisation RF de couches d'oxyde d'indium et d'étain (ITO) dans des conditions douces et non invasives compatibles avec la préservation des couches organiques actives sous-jacentes. Une procédure fiable et reproductible est proposée. Les propriétés de volume et d'interface des films sont étudiées en détail. La réalisation de diodes à conduction par trous seulement a permis de mettre en évidence les excellentes propriétés d'injection de trous. Enfin, la réalisation d'OLED valide notre technolologie. Un effort particulier a porté sur l'optimisation de la couche de protection déposée sous ITO.

This work reports on top-emitting organic LEDs which are the basic devices for flat displays in OLEDs technology. The deposition of a transparent top electrode remains a major difficulty of this technology. In this thesis an exhaustive investigation of RF sputtering of indium tin oxide (ITO) under soft and non invasive conditions so as to be compatible with the preservation of underlying organic layer is given. A reproductible and reliable process is proposed. The films were fully characterized for the bulk and interface properties as well. The realization of hole only devices evidences the excellent hole injection capabilities of our low temperature ITO. OLED were processed and characterized to validate our technology. A particular attention was paid to the optimization of an organic protection layer deposited below ITO.