Thèse soutenue

Algorithmes de détection de ruptures et statistiques spatiales : applications au diagnostic de défaillances dans un procédé de fabrication

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Auteur / Autrice : Caroline Le Gall
Direction : Philippe Besse
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Mathématiques appliquées
Date : Soutenance en 2002
Etablissement(s) : Toulouse 3

Résumé

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L'amélioration continue du rendement d'une chaîne de fabrication, c'est-à-dire du rapport du nombre d'unités fonctionnelles sur le nombre total d'unités produites, constitue un enjeu important pour la compétitivité de l'outil de production. Dans le contexte de la fabrication de circuits intégrés, l'introduction de nouvelles technologies de plus en plus complexes rend les outils statistiques traditionnellement utilisés insuffisants pour la prévention de toutes les défaillances du procédé. Dès lors, de nouvelles techniques statistiques sont développées pour améliorer ou remplacer certains outils existants mais aussi pour en créer de nouveaux. Ainsi, un nouveau processus d'amélioration du rendement est proposé. Lorsqu'une baisse du rendement est observée, il s'agit dans un premier temps de la caractériser. Cette caractérisation découle d'une analyse spatiale des plaquettes de silicium sur lesquelles sont produits les circuits intégrés. . .