Filtres microélectromécaniques micro-usinés en polysilicium couche épaisse et leur application au filtrage en fréquence intermédiaire

Thick-film polysilicon micromachined micromechanical filters and their application to intermediate frequency filtering

• Auteur / Autrice : Dimitri Galayko
• Direction : Andreas Kaiser
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Électronique
• Date : Soutenance en 2002
• Etablissement(s) : Lille 1

Mots clés

Mots clés contrôlés

Dispositifs électromécaniques

Circuits électroniques

Filtres radioélectriques

Résumé

Le travail est axé sur la conception de filtres MEMS pour le filtrage IF dans une technologie de silicium couche épaisse épitaxiée. Le but est d'explorer les capacités d'une telle technologie pour la réalisation de filtres micro-mécaniques pass-bande, et d'enrichir le savoir-faire en matière de la conception au niveau architectural de filtres d'ordre élevé. Nous avons proposé un concept de ressort électrostatique à rigidité variable, qui permet de réaliser des filtres à résonateurs couplés à largeur de bande contrôlée en tension. Une méthode de conception de filtres mécaniques, basée sur l'analogie électromécanique, est développée. Elle est appliquée à la conception d'un filtre pass-bande à zéros de transmission dans la bande coupée. Nous avons conçu une architecture de récepteur RF superhétérodyne, utilisant un filtre MEMS dans un étage IF. La dérive thermique de la fréquence centrale est compensée par un asservissement de la fréquence intermédiaire.