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Diagnostics et modélisation du nettoyage de surface par une post-décharge micro-ondes argon-azote
| Auteur / Autrice : | David Mézerette |
| Direction : | Thierry Belmonte |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Science et ingénierie des matériaux |
| Date : | Soutenance en 2002 |
| Etablissement(s) : | Vandoeuvre-les-Nancy, INPL |
Mots clés
Résumé
Ce travail porte sur le diagnostic et la modélisation de traitements de nettoyage de surface par post-décharge micro-ondes Ar-Nz. Afin de déterminer les mécanismes de surface responsables du nettoyage, des études par Spectroscopie Optique d'Emission et par XPS ont été couplées. Une nouvelle méthode de SOE a permis de remonter à la concentration en N et aux valeurs instantanées du coefficient de recombinaison. Les résultats expérimentaux ont montré que l'azote atomique est responsable de la gravure du carbone présent dans les impuretés et que CH est le radical précurseur de CN*. Les post-décharges ne permettent pas à l'ambiante un nettoyage total des impuretés qui forment une couche protectrice. L'efficacité du nettoyage augmente avec l'adjonction d'oxygène et la température. Le modèle simule des phénomènes transitoires sur plusieurs secondes. Les réactions de surface sont traitées par une approche basée sur des mécanismes élémentaires incluant ceux de Langmuir- Hinshelwood et Eley-Rideal.