Thèse soutenue

Ecriture directe de motifs nanométriques assistée par STM et FIB

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Auteur / Autrice : Arnaud Houël
Direction : Hervé Dallaporta
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences des matériaux
Date : Soutenance en 2002
Etablissement(s) : Aix-Marseille 2
Partenaire(s) de recherche : Autre partenaire : Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences

Mots clés

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Mots clés contrôlés