TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/2001ISAL0083
TI  - Analyse ultime par Spectrométrie de Masses des Ions Secondaires des matériaux de la microélectronique avancée : contribution à l'interprétation des profils de bore dans le silicium
AU  - Baboux, Nicolas
A3  - Dupuy, Jean-Claude
PY  - 2001
SP  - 1 vol. (138 p.)
N1  - Thèse de doctorat Dispositifs de l'Electronique Intégrée Lyon, INSA 2001
N1  - 2001ISAL0083
ER  -