Thèse soutenue

Etude microstructurale de couches minces de carbone amorphe azotées déposées par pulvérisation cathodique magnétron radio fréquence et PECVD-ECR

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Auteur / Autrice : Olivier Durand-Drouhin
Direction : Kacem Zellama
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique de la matière condensée
Date : Soutenance en 2001
Etablissement(s) : Amiens

Mots clés

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Mots clés contrôlés