TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/2000INPG0016
TI  - Réalisation et caractérisation de structures micro-usinées en silicium polycristallin : application aux microsystèmes sur silicium
AU  - Michelutti, Laurence
A3  - Chovet, Alain; Ionescu, Adrian M.
PY  - 2000
SP  - 1 vol. (134 p.)
N1  - Thèse de doctorat Microélectronique Grenoble INPG 2000
N1  - 2000INPG0016
ER  -