Recherche Avancée

Thèse soutenue

Réalisation et caractérisation de structures micro-usinées en silicium polycristallin : application aux microsystèmes sur silicium

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Auteur / Autrice : Laurence Michelutti
Direction : Alain Chovet, Adrian M. Ionescu
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Microélectronique
Date : Soutenance en 2000
Etablissement(s) : Grenoble INPG
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble ; 199.-....)
Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Laboratoire de physique des composants semiconducteurs (Grenoble ; 1969-2001)

Résumé

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Le micro-usinage de surface est une technologie émergente pour la fabrication de microsystèmes. La principale raison est sa parfaite compatibilité avec les technologies de la microélectronique classique. Le silicium polycristallin en est le matériau de base. Il est utilisé soit comme couche purement mécanique, soit comme matériau sensible. Dans le deuxième cas, ses propriétés électriques sont d’une extrême importance. Le travail présenté ici introduit tout d’abord le silicium polycristallin comme élément constituant de base des microsystèmes, puis présente la technologie de ce matériau très complexe. La méthodologie du plan d’expérience est ensuit appliquée pour déterminer l’influence des paramètres technologiques prépondérants sur les propriétés électriques fondamentales du silicium polycristallin pour les microsystèmes, telles que la résistivité et le bruit base-fréquence pour lequel un nouveau modèle est présenté. On étudie également les effets de la corrosion chimique sur le silicium polycristallin. L’application développée par la suite consiste en la réalisation, par micro-usinage de surface, de microsondes de paroi pour le contrôle actif des turbulences en mécanique des fluides