Thèse soutenue

Conception et réalisation d'un micro-filtre accordable de type Fabry-Perot intégré sur silicium

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Auteur / Autrice : Sylvie Jarjayes
Direction : Michel de Labachelerie
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Sciences pour l'ingénieur
Date : Soutenance en 2000
Etablissement(s) : Besançon
Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université de Franche-Comté. UFR des sciences et techniques

Mots clés

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Mots clés contrôlés

Résumé

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Le but de cette thèse est la conception, la fabrication et la caractérisation de micro-filtres spectraux accordables, de type "Fabry-Perot", intégrés sur silicium. Ces composants sont utilisés pour deux types d'applications présentés au chapitre I : l'analyse de gaz et les télécommunications optiques. Afin de répondre aux spécifications de cette dernière application, très contraignante en terme de sélectivité, nous proposons l'utilisation d'une cavité optique de grande épaisseur, comportant deux miroirs de forte réflectivité dont l'un est rendu mobile grâce à un actionnement de type électrostatique. Le chapitre II présente les concepts théoriques (en optique, micromécanique et électrostatique) utilisés pour le dimensionnement des composants et l'analyse de leurs caractéristiques opto-mécaniques. Dans le chapitre III, on s'intéresse à la fabrication des filtres Fabry-Perot. La principale difficulté a consisté à réaliser des miroirs mobiles obtenus par adhésion moléculaire. . .