Thèse soutenue

Étude et réalisation de microdéflecteurs opto-électro-mécaniques intégrés sur substrat de silicium

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Auteur / Autrice : Karine Petroz
Direction : Germain Chartier
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Microélectronique
Date : Soutenance en 1999
Etablissement(s) : Grenoble INPG

Résumé

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L'etude demontre la faisabilite d'un microdeflecteur de faisceaux lasers integre sur substrat de silicium. Essentiellement destine a la telemetrie laser et la detection d'obstacle, ses applications s'etendent a la lecture de code-barres et l'aiguillage de faisceaux lumineux. Le dispositif realise par micro-usinage du silicium a la particularite de balayer une scene par le biais de microlentilles mobiles dans le plan du substrat. Apres une etude theorique des systemes mecaniques et optiques, le microdeflecteur est realise par les techniques de la micro-electronique (depot de couches minces, photolithographie et gravure). La caracterisation permet d'etudier dans un premier temps la deviation mecanique generee par l'actionneur electrostatique. Dans un second temps, elle concerne la deviation optique introduite par le deplacement des microlentilles. Les performances obtenues repondent aux objectifs vises : le microdeflecteur balaye un angle de +/ 10 sous une tension de commande de 12v. L'extension au balayage en deux dimensions pour l'application a la reconstitution de scene est egalement abordee. Le dimensionnement et la fabrication d'un second dispositif ou l'optique est hybridee sur le systeme mecanique de commande est demontree. Dans une optique d'industrialisation, une technologie de fabrication collective est proposee en fin de document.