Conception et réalisation d'un minicapteur de déplacement à fibres optiques de résolution nanométrique

• Auteur / Autrice : Danping Wang
• Direction : Yasser Alayli
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences mécaniques pour l'ingénieur
• Date : Soutenance en 1999
• Etablissement(s) : Compiègne

Résumé

L'objectif de cette thèse est de concevoir et de réaliser des capteurs de déplacement à fibres optiques, extrinsèques, à modulation d'intensité et de résolution nana étrique. Deux capteurs à fibres optiques ont été conçus, réalisés et étalonnés. Le premier a une résolution de 1,6 ns sur me étendu de mesure de 80 nm avec une bande passante de 10 Hz, il a été étalonné au Laboratoire National d'Essais (Bureau National de Métrologie), les résultats expérimentaux confirme le modèle opto-géométrique basé sur la variation du flux lumineux. Le second a une résolution de 0,6 nm rms sur une étendu de mesure de 120 nm avec une bande passante de 5 z. L'influence de l'angle d'inclinaison du capteur par rapport à la surface du réflecteur ainsi que la sensibilité à la dérive thermique entre 5°C et 40°C ont été modélisées et confirmées pm l'expérience. Pm la suite, un capteur à fibres optiques avec un bras de référence a été conçu pour minimiser l'influence de la dérive thermique et les fluctuations de la puissance optique de l'émetteur. Des mesures d'amplitude de vibration due à un défaut de précession d'un tour d'usinage à paliers magnétiques, de déplacement par effet magnétostrictif et de profil de surfaces usinées à l'outil diamant ont été réalisées et comparées aux résultats obtenus par un microscope interférentiel.