Nouvelles méthodes d'analyse, par diffraction des rayons X, des variations de texture dans les couches minces

News methods of analysis, X-ray diffractions, of texture variations in thin layers

• Auteur / Autrice : Kamal El Ghazouli
• Direction : Jean-Julien Heizmann
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Mécaniques, matériaux et structures
• Date : Soutenance en 1998
• Etablissement(s) : Metz
• Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : LETAM - Laboratoire d'étude des Textures et Application aux Matériaux - FRE 3143

Mots clés

Mots clés contrôlés

Rayons X -- Diffraction

Couches minces

Résumé

Une méthode adoptant des stratégies de mesures différentes qui combine soit les techniques de Schulz et de faible incidence, soit des mesures goniometriques à épaisseur constante de pénétration des rayons X, est décrite pour déterminer les gradients de texture dans les couches minces. Cette nouvelle méthode, qui utilise une seule raie hkl de diffraction, est testée sur des échantillons possédant un gradient de texture artificiel connu : elle est appliquée à l'étude d'un gradient réel de texture d'une couche de la Zircone. Les résultats d'analyse quantitative de la texture par la méthode vectorielle sont présentés.

A method using different strategies of measurement which combines the Schultz technique and the small incidence one, or measurement with a constant penetration depth of rays X, is described to determine the texture gradients in thin films. This method which uses only one reflexion line (hkl), is tested on samples possessing an artificiel texture gradient. Its applied to know the real texture gradient in a thin film of Zirconia. Quantitative texture analysis results made with the vectoriel method are presented.