Recherche Avancée

Thèse soutenue

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Auteur / Autrice : Renato Perez Ribas
Direction : Bernard Courtois
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Microélectronique
Date : Soutenance en 1998
Etablissement(s) : Grenoble INPG
Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Techniques de l’informatique et de la microélectronique pour l’architecture des systèmes intégrés (Grenoble1994-....)

Résumé

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L'interet pour les microsystemes aujourd'hui est due aux memes raisons qui ont permit le succes des circuits integres numeriques au cours de ces dernieres annees. Le developpement avance des technologies en silicium font de ce materiau le plus utilise pour les microsystemes. Malgre cette hegemonie, il existe d'autres alternatives pour les applications ou le silicium n'est pas tres performant. L'arseniure de gallium (asga) se montre prometteur car des effets comme la piezo-electricite, la piezo-resistivite et l'emission de rayonnement lumineux peuvent efficacement etre exploites. La fabrication des microstructures compatibles avec des technologies standards des circuits integres en asga est presente dans cette these. Le micro-usinage en volume par la face avant ne demande aucune modification dans les procedes microelectronique standards. De plus, il permet la fabrication collective des microsystemes a bas cout et en grandes quantites. Les microstructures suspendues sont le resultat d'une operation post-process (micro-usinage). Dans ce travail, plusieurs solutions de gravures ont ete etudiees et caracterisees. Les vitesses de gravure et les eventuels degats dans les couches dielectriques et de metallisation des plots ont ete verifies. A partir de ces resultats, deux applications potentielles pour les microsystemes en asga ont ete considerees : les composants thermiques qui peuvent profiter de la haute resistivite thermique et du coefficient seebeck de l'asga, et des composants passifs suspendus pour les circuits en radio frequences, comme les lignes micro-rubans et les inducteurs planaires. Finalement, un ensemble d'outils de cao pour les microsystemes a ete developpe. Des modules specifiques ont ete assembles a l'environnement mentor graphics, comme par exemple la verification des regles de dessins pour les microsystemes, des outils pour la visualisation du layout en coupe et en trois dimensions, et des simulateurs de gravure.