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Étude et développement d'un spectromètre photoacoustique intègre sur silicium pour analyse de gaz
| Auteur / Autrice : | Anne Jourdain |
| Direction : | Marc Chenevier |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Physique |
| Date : | Soutenance en 1998 |
| Etablissement(s) : | Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015) |
Mots clés
Mots clés libres
Résumé
L'etude consiste a miniaturiser par integration sur un substrat de silicium un spectrometre infrarouge. L'etude porte en particulier sur la detection de dioxyde de carbone. La detection photoacoustique qui consiste a mesurer une augmentation de pression dans une cavite apparait comme la technique de spectroscopie la mieux adaptee a la miniaturisation et a l'integration. Le microsysteme est compose de deux blocs principaux : un bloc source infrarouge realise sur membrane de nitrure de silicium et un bloc integrant un filtre optique accordable, un microphone pour la detection et une microcavite. Apres une etude theorique approfondie des differents composants, chaque element constitutif est realise a partir des techniques de fabrication empruntees a la microelectronique (photolithographie, depots de couches minces dielectriques et gravures) avant l'assemblage final realisant le microspectrophotometre. Enfin, une etude qualitative et quantitative des caracteristiques et des performances des composants est realisee grace a l'elaboration d'une electronique specifique de traitement du signal.