Etude de la structure et des nanorugosités interfaciales de multicouches rayons x par traitement numérique de micrographies électroniques : lien avec leurs propriétés optiques

Study of structure and interfacial roughness of extreme ultraviolet- (euv-) multilayered interferential mirrors (mims) by computer processing of electron microscope cross-sections of mims : relevance to their euv optical properties

• Auteur / Autrice : Marc-Olivier Flaissier
• Direction : Georges Rasigni
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Optique
• Date : Soutenance en 1997
• Etablissement(s) : Aix-Marseille 3

Mots clés

Mots clés contrôlés

Rugosité

Microscopie électronique en transmission

Traitement d'images

Rayons X

Résumé

Le travail presente s'inscrit dans le cadre de la caracterisation des multicouches rayons x. Il a consiste en la mise au point d'une methodologie originale associant traitement d'image et microscopie electronique, et permettant d'acceder directement a la structure des empilements x-uv. Sous l'hypothese d'existence d'interfaces abruptes, des operations de filtrage et de segmentation ont permis de definir des profils d'interface sur les micrographies electroniques numerisees de sections de multicouches. Il a alors ete possible de determiner la structure des empilements de molybdene/carbone et de nickel/carbone (evolution de la periode et du parametre de division) mais aussi de caracteriser les interfaces (ecart quadratique moyen des hauteurs #h, longueur de correlation l#c, rapport #h/l#c). A partir du modele d'abeles et en utilisant les parametres estimes par traitement d'image des micrographies electroniques, les simulations des comportements optiques x-uv ont ete effectuees dans le domaine speculaire. Leur comparaison avec les enregistrement experimentaux a montre un tres bon accord a 13,33 a. Des resultats tres satisfaisants ont aussi ete obtenus a 1,54 a.