Dispositifs multi-capteurs sélectifs au méthane, réalisés en technologie microélectronique hybride couches épaisses

Selective methane detection with multi-sensor devices, made using hybrid thick film technology

• Auteur / Autrice : Hélène Debeda
• Direction : Francis Ménil
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Électronique
• Date : Soutenance en 1996
• Etablissement(s) : Bordeaux 1

Résumé

Cinq dispositifs multi-capteurs, bases sur des capteurs a oxyde semiconducteur et/ou des capteurs catalytiques ont ete concus en technologie micro-electronique hybride couches epaisses pour la detection selective de methane en milieu domestique. Pour resoudre le probleme de selectivite inherent a ces capteurs, nous nous sommes inspires d'un concept base sur la difference d'activite catalytique entre le palladium et la platine, vis a vis de la combustion du methane. L'evaluation, puis l'optimisation de la fiabilite des dispositifs en collaboration avec gaz de france a conduit a la realisation de prototypes incluant l'electronique de commande