Creation and investigation of x-ray mirrors based on conventional, short-period and graded multilayers

• Auteur / Autrice : Andrei Yakshin
• Direction : Bernard Vidal
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Science des matériaux
• Date : Soutenance en 1996
• Etablissement(s) : Aix-Marseille 3
• Partenaire(s) de recherche : Autre partenaire : Université Paul Cézanne. Faculté des sciences et techniques de Saint-Jérôme (Aix-Marseille)

Mots clés

Mots clés contrôlés

Construction

Optique -- Instruments

Réflectance

Propriétés optiques

Couches minces

Miroirs

Résumé

Depuis plus d'une dizaine d'annees, on sait realiser des miroirs pour le rayonnement x a partir d'empilements periodiques de materiaux metal/dielectrique dont les epaisseurs sont comparables a celles de la longueur d'onde utilisee (10-100 a). Dans ce but, le procede de pulverisation r. F. Magnetron que nous avons developpe, etudie et applique a la realisation de multicouches est parfaitement stable et reproductible. Ce travail, realise dans le cadre du laboratoire d'optique electromagnetique, s'appuie sur une etude approfondie de la croissance des couches (depot, repulverisation, temps mis par les atomes a adherer au substrat). A partir de cette etude et grace a la parfaite repetabilite du procede, nous avons pu calibrer exactement notre dispositif et fabriquer ensuite des multicouches de tres courtes periodes d (d 15 a) constituees d'un grand nombre de couches (900) avec une reflectivite importante. Cette calibration nous a permis egalement de realiser des multicouches a variation d'epaisseur selon le rang de l'empilement souvent appelees supermiroirs. De plus, il est maintenant possible de realiser des empilements dont les variations laterales d'epaisseur peuvent suivre une loi quelconque. Ces deux dispositifs permettent et permettront le developpement de nouvelles optiques pour le rayonnement issu non seulement d'un tube x conventionnel, mais surtout d'un anneau synchrotron comme bessy ii ou le futur synchrotron francais soleil