Analyse et modélisation des performances de capteurs microacoustiques spécifiques adaptées à l'adhérence de couches minces sur substrat

Analysis and modelization of specific microacoustic sensor performances matched to the adhesion of thin films on substrate

• Auteur / Autrice : Céline Maurel
• Direction : Jacques Attal
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Électronique, optronique et systèmes
• Date : Soutenance en 1995
• Etablissement(s) : Montpellier 2

Mots clés

Mots clés contrôlés

Qualité -- Contrôle

Surfaces

Couches minces

Modèles mathématiques

Capteurs (technologie)

Microscopie acoustique

Résumé

L'etude a eu pour objectif de developper les applications de la microscopie acoustique a la caracterisation de la tenue mecanique d'une couche mince deposee sur un substrat. Une partie consacree a la modelisation expose les differentes formulations de l'adhesion et permet la determination du reseau de dispersion des vitesses des modes de lamb pour chaque degre d'adherence. Cette analyse est mise en uvre experimentalement sur des plaques d'acier liees a un substrat en verre. La definition de criteres permettant d'evaluer l'efficacite de ces modes est developpee et appliquee a l'etude de leur sensibilite au decollement. L'optimisation des performances du capteur est etudiee par l'intermediaire de la longueur de la ligne a retard. Nous montrons, au niveau theorique et experimental, que ce parametre permet d'ameliorer la sensibilite de la signature acoustique aux modes de propagation acoustiques. Au niveau experimental, la caracterisation d'un depot pvd de chrome de 10 microns d'epaisseur sur un substrat en acier est abordee sous deux aspects. D'une part, l'imagerie hautes frequences permet d'observer sa microstructure et de detecter les defauts masques (fissures,). D'autre part, l'analyse de signatures acoustiques v(z) et de profils v(x) permet d'effectuer une quantification de la qualite du revetement