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Thèse soutenue

Contribution à l'étude de codépôts de AlN3-Si3N4 par dépôt chimique en phase gazeuse

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Auteur / Autrice : Franck Henry
Direction : Benigno Armas
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Chimie des matériaux
Date : Soutenance en 1995
Etablissement(s) : Montpellier 2

Résumé

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Dans le but de proteger des composites carbone carbone contre l'oxydation a haute temperature, le depot d'une couche de carbure de silicium suivi par le codepot de aln-si#3n#4 a ete effectue par depot chimique en phase gazeuse sous pression reduite (l. P. C. V. D. ) dans un reacteur a paroi chaude. Le sic sert de barriere de diffusion et assure l'adherence entre le substrat graphite et le codepot aln-si#3n#4. La vapodeposition de sic par pyrolyse du tetramethylsilane en presence d'hydrogene a ete etudiee afin de preciser l'influence des parametres experimentaux: pression, temperature et debit gazeux sur la cinetique et la morphologie des depots. Les couches obtenues ont ete caracterisees par diffraction de rayons x, microscopie electronique a balayage, microscopie electronique en transmission. Une etude thermodynamique previsionnelle du codepot de aln-si#3n#4 dans le systeme chimique al-si-n-h-cl a ete effectuee. Elle a montre la faisabilite du codepot. Des depots et codepots de aln et si#3n#4 ont ete realises a partir des precurseurs alcl#3, sicl#4 et nh#3. Les revetements obtenus ont ete caracterises par diverses techniques: diffraction de rayons x, microscopie electronique a balayage, microsonde electronique, spectroscopie auger et x. P. S. , microscopie electronique en transmission. Le caractere nanocristallise des codepots ainsi que l'absence de solutions solides a ete montre. Des experiences effectuees a haute temperature ont montre que le codepot a une bonne tenue a l'oxydation. Il a ete possible d'obtenir lors de ces experiences de la mullite