Étude de la formation des ions MCs+ en spectromètrie de masse d'ions secondaires : application à la quantification

Study of the formation mechanism of MCs+ ions in secondary ion mass spectrometry : application to quantification

• Auteur / Autrice : Yannick Marie
• Direction : Stanislas Scherrer
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences et génie des matériaux
• Date : Soutenance en 1995
• Etablissement(s) : Vandoeuvre-les-Nancy, INPL
• Jury : Président / Présidente : Henri-Noël Migeon
• Jury : Rapporteurs / Rapporteuses : Marc Aucouturier, Bernard Rasser

Mots clés

Mots clés contrôlés

Cations

Analyse quantitative (chimie)

Césium

Spectrométrie de masse des ions secondaires

Mots clés libres

Appareillage

Spectrométrie SIMS

Cation

Césium

Quantification

Effet matrice

Instrumentation

Secondary ion mass spectrometry

Cations

Cesium

Quantization

Matrix effect

Résumé

La spectrométrie de masse d'ions secondaires (SIMS) est une technique de microanalyse de surface très utilisée en raison de son excellente sensibilité (ppm-ppb), pour déterminer la présence de dopants et d'impuretés dans les matériaux. La quantification demeure son principal défaut à cause de l'importance de l'effet de matrice: la sensibilité d'un élément dépend fortement de la matrice dans laquelle il est analysé. Ce travail est consacré à l'étude d'une nouvelle technique, dite technique MCs+ ou cationisation, peu sensible à l'effet de matrice, permettant une analyse quantitative directe des matériaux complexes. Une étude détaillée des ions MCs+ montre que c'est leur mécanisme de formation par recombinaison qui est à l'origine de la faible sensibilité de la technique à l'effet de matrice. L’étude de plusieurs standards donne une première estimation de la fiabilité des résultats quantitatifs obtenus à l'aide de cette technique