Étude de l'influence du substrat sur la formation de films de diamant : application au développement de couches minces de nitrure de bore cubique
Auteur / Autrice : | Dominique Michau |
Direction : | Bernard Tanguy |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Chimie du solide. Sciences des matériaux |
Date : | Soutenance en 1995 |
Etablissement(s) : | Bordeaux 1 |
Ecole(s) doctorale(s) : | École doctorale des sciences chimiques (Talence, Gironde1991-....) |
Jury : | Président / Présidente : Gérard Beck |
Examinateurs / Examinatrices : Bernard Tanguy, Gérard Beck, Jean Grilhé, Bernadette Marcus, Jean Étourneau, Gérard Demazeau, Pascal Bradu | |
Rapporteurs / Rapporteuses : Jean Grilhé, Bernadette Marcus, Jean Étourneau |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Résumé
En utilisant une démarche de type "Chimie du Solide", le rôle des principaux facteurs caractérisant la surface du substrat (composition chimique, structure et liaisons chimiques) sur la germination de cristallites de diamant, ainsi que leur morphologie, a ete mis en évidence. La densité de nucléation et le rapport Csp2/Csp3 ont pu notamment etre corrélés a la diffusion du carbone dans le substrat. Afin de contrôler celle-ci, des couches superficielles de composes covalents tels que les nitrures et les borures ont été utilisées. Elles ont permis d'atteindre des densités très importantes de nucléi de diamant pour des temps de dépôt relativement courts. L'ensemble des résultats concernant le dépôt par hétéroépitaxie du diamant a permis de proposer une méthodologie au niveau du choix du substrat et des espèces réactives pour l'obtention de couches minces de nitrure de bore cubique.