Ablation de NbTex par laser à exciplexes : application au dépôt de films minces

Excimer laser ablation of nbtex application to thin film deposition

• Auteur / Autrice : Frédéric Grangeon
• Direction : Michel Autric
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Rayonnement et plasmas
• Date : Soutenance en 1995
• Etablissement(s) : Aix-Marseille 1

Mots clés

Mots clés contrôlés

Tellurures

Niobium -- Composés

Couches minces

Spectroscopie

Ablation (aérothermodynamique)

Résumé

L'ablation par laser krf nm impulsionnel de cibles de tellurures de niobium est realisee dans le but de deposer des films minces de ces materiaux. L'ablation d'une cible nbte2 sous vide conduit au depot de films minces de conducteur monodimensionnel nb5te4. L'evolution de la composition et des parametres structuraux des films est etudiee en fonction de la fluence laser et de la temperature du substrat. Les phenomenes d'ablation sous vide sont etudies a l'aide d'un dispositif de spectroscopie optique de temps de vol. Nous avons etudie l'influence d'une atmosphere d'helium sur la composition des films et les processus d'ablation et de transport. Les resultats preliminaires concernant les depots obtenus par ablation sous vide d'une cible nbte4 sont presentes, ainsi que l'etude de l'ablation de ce compose. Enfin ; des resultats concernant l'utilisation d'un code numerique pour la simulation de l'ablation de niobium pur par laser a exciplexes sont presentes