Réalisation et caractérisation d'un capteur magnétique en couche mince

• Auteur / Autrice : Sang-Goog Lee
• Direction : Michel Hubin
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1994
• Etablissement(s) : Rouen

Mots clés

Mots clés contrôlés

Hall, Effet

Capteurs (technologie)

Couches minces semiconductrices

Mots clés libres

Etude expérimentale

Capteur

Couche mince

Préparation

Evaporation

Structure cristalline

Recuit

Conductivité électrique

Effet Hall

Indium antimoniure

Semiconducteur III-V

InSb

In Sb

Experimental study

Sensors

Thin films

Preparation

Evaporation

Crystal structure

Annealing

Electric conductivity

Hall effect

Indium antimonides

III-V semiconductors

Résumé

Ce travail concerne l'étude d'un élément Hall de performances intéressantes, et réalisé en technologie couche mince. L'analyse bibliographique nous a conduit à privilégier l'antimoniure d'indium. L'ouvrage, après examen critique des techniques de fabrication de couches minces composées, présente la nouvelle méthode que nous avons développée ainsi que les procédés mis en oeuvre pour optimiser les caractéristiques structurelles des couches. Les résultats expérimentaux concernant l'analyse structurelle, les procédures de recuit et le comportement électrique en présence de champ magnétique des couches de InSb sont présentés. Les perspectives d'avenir sont évoquées en conclusion