Realisation et caracterisation de revetements de zircone obtenus par depot chimique en phase vapeur assistee par un plasma micro-onde

Zirconia coatings by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition

• Auteur / Autrice : GHISLAINE SEIBERRAS
• Direction : Rémy Mévrel
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1994
• Etablissement(s) : Paris 11

Résumé

Ce manuscrit presente l'evaluation d'une nouvelle technique de realisation des barrieres thermiques en zircone yttriee: le depot chimique en phase vapeur assistee par un plasma micro-onde (mpecvd: microwave plasma enhanced chemical vapor deposition). Les reacteurs concus et realises a l'onera (brevet) pour deposer de la zircone puis de la zircone yttriee sont presentes en detail. L'etude menee concerne d'une part le plasma, d'autre part le materiau depose. La spectrometrie d'emission optique permet d'identifier certaines especes presentes (zr, cl, o, zrcl, zro) dans le plasma et de proposer un mecanisme reactionnel. De plus, grace a cette technique, le plasma est localise par rapport a l'ecoulement de gaz. La determination du rendement, de la vitesse, de la structure cristallographique et de la morphologie du depot a ete faite en fonction des principaux parametres operatoires de facon a tenter d'etablir un lien entre les caracteristiques du plasma et celles du materiau depose. Cette etude a permis d'obtenir des revetements de zircone de structure colonnaire cristallisant majoritairement dans la phase monoclinique avec des vitesses de depot pouvant atteindre 5 um/mn. L'ensemble des resultats decrits dans ce memoire montre l'interet de ce procede dans le cadre de la realisation de barrieres thermiques