Fabrication et etude d'un micromoteur electrostatique en microtechnologie silicium

Fabrication and design of a silicon micromachined electrostatic micromotor

• Auteur / Autrice : HOCINE ZIAD
• Direction : Serge Rigo
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences appliquées
• Date : Soutenance en 1994
• Etablissement(s) : Paris 7

Résumé

Un procede technologique adapte a la fabrication des micromoteurs electrostatiques a champ axial et stator double est mis au point. Il combine techniques classiques de la microelectronique et techniques specifiques de l'usinage et de la soudure du silicium. Deux prototypes de moteur, l'un a rotor de polysilicium, l'autre a rotor metallique, sont fabriques puis testes. Des defauts de conception et de fonctionnement sont deceles: surface trop grande du contact entre parties fixes et mobiles, instabilite de celles-ci, qui basculent sur leur support. Certaines caracteristiques des prototypes, et de leur procede de fabrication, sont exploitees pour la definition de modes d'operation a privilegier, dans lesquels les frictions seches sont absentes: morphologie similaire a celle d'un assemblage de lignes de transmission en microbande des moteurs a rotor metallique, et liberation par gravure seche des rotors, permettent d'envisager respectivement la levitation de ceux-ci par un signal de longueur d'onde millimetrique, et l'ajustement de la constante de temps caracteristique du basculement du rotor a des valeurs largement au dela de la duree d'un pas de rotation de ce rotor