Thèse soutenue

Contribution à la caractérisation de processus technologiques CMOS : étude de structures de test destinées à la mesure de capacités des composants élémentaires

FR  |  
EN
Auteur / Autrice : Abdelaziz Khalkhal
Direction : P. GIRARD
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Électronique, optronique et systèmes
Date : Soutenance en 1994
Etablissement(s) : Montpellier 2

Résumé

FR

Cette these presente une contribution a la caracterisation de processus technologiques. Notre travail a ete essentiellement axe sur la determination de capacites de composants elementaires en technologie cmos. Deux methodes d'evaluation ont ete mises au point, l'une statique et l'autre dynamique. La premiere est basee sur l'utilisation d'un element de reference pour determiner la capacite inconnue. Simple a mettre en uvre, cette methode a permis la caracterisation de composants de dimensions minimales. Des capacites dans la gamme du ff ont ete mesurees. Ces resultats ont permis d'etablir une carte modele capacitive pour des jonctions pn et de determiner les dimensions effectives de transistors. La deuxieme methode developpee permet de faire une evaluation en absolue de capacites constantes avec une bonne precision. Son principe est base sur l'etude de la reponse en courant d'une capacite a une rampe de tension. Elle est particulierement adaptee a la caracterisation des interconnexions