Contribution à l'étude de l'application des dépôts ioniques à la réalisation de revêtements de nitrure de bore

Contribution to the study of the application of ion plating technique to the realization of boron nitride films

• Auteur / Autrice : Isabelle Grenier
• Direction : Jean Machet
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences des matériaux céramiques et traitements de surface
• Date : Soutenance en 1994
• Etablissement(s) : Limoges
• Partenaire(s) de recherche : Autre partenaire : Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques

Mots clés

Mots clés contrôlés

Nitrure de bore

Résumé

Ce travail fait l'objet de la realisation et de la caracterisation de couches minces de nitrure de bore par depot ionique. La mise au point d'un dispositif experimental d'analyse du plasma par spectroscopie optique d'absorption permet: d'une part, de controler avec precision la vitesse de croissance des couches de bn; d'autre part, de determiner la densite atomique de bore a l'etat fondamental en phase gazeuse. Les especes excitees ont ete mises en evidence par spectroscopie optique d'emission. Les caracteristiques electriques de la decharge r. F. (temperature et densite electroniques, flux d'ions) ont ete determinees. Les depots de nitrure de bore obtenus par cette technique ne sont jamais stchiometriques. Ils presentent toujours un exces de bore. Les conditions optimales de reactivite du bore et de l'azote ne semblent pas atteintes. Il est tres difficile de synthetiser une phase unique, par exemple, la phase cubique. Les proprietes mecaniques et optiques sont etroitement liees a la stchiometrie des depots