Elaboration par pulverisation cathodique et etude des proprietes magnetiques statiques et dynamiques des films minces amorphes (cozrre) et cristallises (fezr et fezrn) d'aimantation elevee et de faible coercitivite

Static and dynamic study of magnetics properties of (cozrre) amorphous and (fezr and fezrn) crystallized thin films with high magnetization and low coercivity grown by rf cathodic sputtering

• Auteur / Autrice : NOUR EDDINE FARHANE
• Direction : Henri Le Gall
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1994
• Etablissement(s) : Clermont-Ferrand 2

Résumé

Ce travail s'inscrit dans le cadre de la mise au point de nouvelles generations d'alliages ferromagnetiques amorphes ou cristallises. Ces materiaux presentent des proprietes magnetiques tres prometteuses pour l'application aux transducteurs ou tetes integrees de l'enregistrement magnetique a haute densite a savoir: une forte aimantation a saturation, une faible coercitivite et une permeabilite rotationnelle elevee. Cependant leurs proprietes chimiques, structurales et magnetiques s'averent largement tributaires des conditions d'elaboration. A cet effet, une etude des correlations existants entre les proprietes intrinseques magnetiques, la structure et la microstructure et les parametres technologiques de pulverisation cathodique rf des films minces amorphes de cozr, et cristallises fezr et de fezrn a ete effectuee. Dans une premiere partie, on montre que l'optimisation des films de cozr superdoux d'aimantation elevee implique des conditions tres restrictives de depot. L'etude theorique et l'analyse des correlations entre les comportements dynamiques (coercitivite, permeabilite de paroi et permeabilite rotationnelle) des films de cozr et de cozrre et parametres de depot confirme: l'influence des courants de foucault sur la coercitivite et la permeabilite de parois et la tres forte dependance de ces deux grandeurs avec la frequence, et la possibilite d'optimiser un comportement dynamique a haute frequence. Cette optimisation a ete realisee en annulant les effets de contraintes par substitution par du rhenium induisant une magnetostriction nulle dans l'alliage co#9#5zr#3re#2. Dans une deuxieme partie, on procede a une etude systematique des conditions de depot des films de fezr et de fezrn. Cette analyse a permis de montrer que des films doux d'aimantation elevee et de faible coercitivite peuvent etre obtenus sous reserve de conditions optimales de depot. Des permeabilites rotationnelles de l'ordre de 2000 ont ete ainsi obtenues dans une large gamme de frequences allant jusqu'a 200 mhz