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Thèse soutenue

Films polycristallins de diamant : dopage au bore à partir de la phase vapeur

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Auteur / Autrice : Patrice Gonon
Direction : Alain Deneuville
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Microélectronique
Date : Soutenance en 1993
Etablissement(s) : Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015)

Résumé

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En vue de la realisation de dispositifs electroniques a base de diamant, nous avons etudie le dopage au bore des films polycristallins de diamant elabores par depot chimique en phase vapeur. Les films dopes au bore sont caracterises a l'aide de mesures de diffraction x, d'absorption dans l'infrarouge, de diffusion raman, de cathodoluminescence, et de resonance paramagnetique electronique. Les proprietes electriques des films sont etudiees a l'aide de mesures du courant en fonction de la tension et de la temperature, de la capacite en fonction de la tension et de la frequence, et a l'aide de mesures de photoconductivite