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Thèse soutenue

Elaboration par pulvérisation ionique et caractérisation de couches minces ferromagnétiques à forte perméabilité

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Auteur / Autrice : Jean-Luc Vermeulen
Direction : Jean-Claude Peuzin
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Physique
Date : Soutenance en 1993
Etablissement(s) : Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015)

Mots clés

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Résumé

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Dans le cadre des applications employant des materiaux ferromagnetiques aux hyperfrequences, nous avons etudie les proprietes magnetiques et electriques de couches minces ferromagnetiques metalliques et dielectriques deposees par pulverisation ionique. Le premier volet de ce memoire se rapporte a l'installation de depot. Des parametres cles tels que l'orientation de la cible et la temperature du substrat font l'objet d'une analyse approfondie. Cette etude a permis ainsi d'aboutir a l'obtention de couches denses de qualite maitrisee. Sur la base de ces preliminaires, des films minces microcristallises de co-fe-si-b ont ete elabores et caracterises. L'analyse des proprietes magnetiques statiques et dynamiques en fonction des conditions experimentales montre qu'elles sont particulierement sensibles aux deux parametres: temperature de depot et bombardement ionique. Leur controle a permis ainsi de realiser des couches presentant a la fois des permeabilites elevees a basse frequence et de fortes pertes a des frequences plus hautes. En dernier lieu, l'accent est mis sur la realisation et l'etude de couches resistives de b-n et de fe-b-n. Nous montrons qu'il est possible d'obtenir, grace a un bombardement simultane d'ions azote de la couche en croissance, des depots nitrures de concentration en azote variable dans l'intervalle 0-50 pour cent. Concernant les depots de fe-b-n, une forte dependance des caracteristiques electromagnetiques vis-a-vis de la composition a ete observee. Selon la concentration de fer, les proprietes du compose evoluent d'un caractere fortement ferromagnetique et conducteur, a un comportement tres resistif mais a faible induction a saturation