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des thèses françaises
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Contribution au développement de capteurs tout solide pour la mesure du pH en milieu marin
| Auteur / Autrice : | Valérie Rocher |
| Direction : | Nicole Jaffrezic-Renault |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Sciences. Électronique. Dispositifs de l'électronique intégrée |
| Date : | Soutenance en 1993 |
| Etablissement(s) : | Ecully, Ecole centrale de Lyon |
| Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Laboratoire de physique chimie des interfaces (Ecully, Rhône) |
Mots clés
Résumé
Le but de cette these s'inscrit dans le cadre de la recherche de nouveaux capteurs pour la mesure in-situ du ph en milieu marin. Les caracteristiques offertes par des systemes electrochimiques tels que les isfets(ion sensitive field effect transistor) sont particulierement interessantes : petite taille et facilement integrables, faible impedance, faible consommation d'energie et de produits de calibration, importante resistance a la pression. Ce travail concerne la realisation d'une nouvelle technologie silicium pour les isfets afin de minimiser les problemes de duree de vie. Deux caracteristiques importantes ont ete modifiees : la longueur du composant et l'encapsulation effectuee par photolithographie. Le second objectif est le depot de membranes sensibles au ph (oxynitrure de silicium, nitrure de silicium) dont les surfaces sont constituees en majorite de sites sinh#2 ; ces sites pourront etre greffes afin d'obtenir une membrane insensible au ph pour la realisation du refet (reference field effect transistor). Enfin, le dernier objectif est de travailler en mesure differentielle entre un isfet ph et un refet de maniere a minimiser les effets interferents. Ainsi, nous avons pu montrer qu'il est possible de deposer ces differents materiaux sans endommager la structure des composants. La reponse au ph obtenue est quasinernstienne et la duree de vie est de plusieurs mois