Etude d'une decharge micro-onde cree par onde de surface a 433 mhz dans les melanges oxygene-azote en flux

Study of a microwave discharge created by surface wave at 433 mhz in flowing oxygen-nitrogen mixture

• Auteur / Autrice : DOMINIQUE CHEREAU
• Direction : Philippe Leprince
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Physique
• Date : Soutenance en 1992
• Etablissement(s) : Paris 11

Résumé

Le sujet de cette these est l'etude experimentale d'une decharge micro-onde creee par onde de surface (433 mhz) dans les melanges o#2-n#2 en flux, a des pressions de l'ordre du torr. Cette decharge est utilisee comme source d'especes actives (oxygene atomique et singulet) pour le traitement de materiaux. Les diagnostics utilises sont l'interferometrie micro-onde, la spectroscopie d'emission sur la decharge (temperatures vibrationnelles et rotationnelles, actinometrie) et d'absorption vuv en post-decharge. Tout d'abord, nous determinons les caracteristiques energetiques de la decharge d'oxygene en fonction de la densite de neutres. Nos resultats sont en accord avec le modele de c. Ferreira et g. Gousset. La validation experimentale de l'actinometrie nous a permis de suivre o et de presenter un modele cinetique en decharge. Des mesures des densites d'oxygene atomique et singulet en post-decharge, nous deduisons leurs probabilites de perte sur le quartz, valant respectivement 9e-5 et 1. 8e-5. Ensuite, nous etudions l'influence du pourcentage d'azote sur les caracteristiques et nous validons l'actinometrie pour les melanges o#2-n#2. Nous montrons que le taux de dissociation de o varie de 2% en oxygene pur a 15% pour les melanges contenant plus de 20% d'azote. Apres une discussion de la cinetique en decharge o#2-n#2, nous interpretons cet accroissement par la diminution de la frequence de recombinaison de o a la paroi. Nous montrons que pour tous les melanges, 10% de l'oxygene moleculaire est dans l'etat singulet